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其他产品业务
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先导元创精密 金属零部件Metal Heater
产品规格：产品型号： 下载：  
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商品介绍
应用场景：半导体制程设备中，如蚀刻设备、化学气相沉积CVD设备、物理气相沉积 PVD设备；具备核心仿真能力，优化产品输入功率、流体等关键参数，可提供更高的工艺一致性、稳定性、可重复性。
特点和指标：
· 仿真设计能力，具备共同开发 heater 能力；
· 有电子束焊接设备及真空钎焊设备，具备加热盘焊接能力；
· 加热盘装配能力，主要加热丝装配能力。
参数：
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关键参数 |
VITAL |
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盘面面粗度 |
Ra<0.4μm |
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平面度 |
<0.025mm |
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垂直度 |
<0.05mm |
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焊接结合率 |
≥95% |
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温度均一性 |
<±1% |
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膜厚均一性 |
±5%μm |
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HEATER BANDING |
自 制 |
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Test Charmber |
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销售电话：156o183736o
