应用场景:先导的数字化压力控制器(DPC)默认配置成底座 1.125″(28.6 mm) 宽、金属密封的压力控制器,适用于广泛的应用场景,适合于 100 ~ 350 KPa(A) 控压范围,精控范围为满量程的 2~100%。该产品目前支持上游控压模式,提供 EP 选项,表面平整度为 5μ-inch,可良好地适用于高洁净度制程。
主要优势:限流规格(N2等效):50, 300, 1000, 5000, 10000sccm;精度:±0.5% F.S.;响应速度:<1.0s。
特点和指标:

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