应用场景：先导元创流体的流量比例控制器使用特殊的控制阀来提高晶圆的一致性和晶圆与晶圆间的一致性。 这是目前行业内响应最快的流量比例控制器，响应时间小于 1 秒。

主要优势：比率控制精度：±1% S.P.、通道流量控制：0, 2%~100%、重复性：±0.2% S.P、输入比率范围：0, 1%~100%、响应时间：＜ 1.0s。

主要特点：基于位置控制的阀门设计；DNET/ECAT；3或4个通道。

销售电话：156o183736o