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其他产品业务
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先导元创精密 静电卡盘
产品规格：产品型号：ALN HEATER 下载：  
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商品介绍
应用场景：半导体前制程设备如(ICP&CCP)ETCH、CVD、SACVD 等设备中；优化产品输入功率、流体等关键参数，可提供更高的工艺一致性、稳定性、可重复性。
特点和指标：
·关键陶瓷原材料自主研发及制备；
·高纯度：≥90%，最高达到 99.99%；耐腐蚀性好
·快速的吸附和脱吸附响应速度；
·应用温度范围广；
·具备 L1~L4 的维修能力。
参数：
| 关键参数 | ALN HEATER |
| 材质 | ALN |
| 尺寸 (mm) | 300 |
| 颜色 | 灰色 |
| 密度 (g/cm3) | 3.3 |
| 抗弯强度 (MPa) | > 300 |
| 热导率 (W/mK) | 170 |
| 电阻率 (Ohm·cm@RT) | 10E + 15 |
| 杨氏模量 (GPa) | 300 |
| 热膨胀系数 (ppm/K) | 5.7 (1000℃ ) |
销售电话：156o183736o
