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其他产品业务
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先导元创精密 金属零Showerhead
产品规格：产品型号： 下载：  
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商品介绍
应用场景：半导体前制程设备如 ETCH、CVD 等设备中；可提供更高的工艺一致性、稳定性、可重复性。
特点和指标：机加工设备进口确保上万毫米小孔一致性；OGF、ALD、APS 多种涂层能力确保不同场景下使用寿命。
参数：
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关键参数 |
Vital |
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毛刺 |
0.01mm |
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洁净度 |
@ 0.3um < 8 Particle/ml |
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密封面粗度 |
Ra < 0.2μm |
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膜厚均一性 |
± 5%μm |
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孔径一致性 |
STD ＜ 0.002 |
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平面度/平行度 |
＜ 0.025mm |
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喷砂 |
全自动喷砂 |
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清洗 |
产线全自动工业4.0 |
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洁净度检测 |
QⅢ / ICP-MS |
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技术能力 |
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技术模块 |
能力 |
参数 |
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机加工 |
微孔加工 |
0.3 ~ 1mm |
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转速 |
20000+ |
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刀具偏摆 |
0.002mm |
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焊接 |
焊接变型量 |
≤ 0.2mm |
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洁净 |
纯水电阻 |
18兆欧 |
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水洗槽内电阻 |
> 4兆欧 |
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Particle 粒径 |
＜ 5μm |
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涂层 |
涂层（材料） |
Al2 O3 / Y2 O3 / YOF / YF3 |
销售电话：156o183736o
