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其他产品业务
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先导元创精密 模块化、客户定制化XDX系列光谱仪
产品规格:产品型号:XDX60004000 下载: |
商品介绍
应用场景:显示面板、太阳能硅片 /电池片、晶圆等半导体制程中的终点检测,提高产品良率,降低生产成本。
特点和指标:波长范围:200~1100nm(根据客户配置);光学分辨率:<1nm@25μm 狭缝(FWHM);传感器:CCD/CMOS(根据客户配置);工作温度:5~50℃;
参数:
| 产品型号 | XDX6000 光谱仪 | XDX4000 光谱仪 |
| 通讯方式 | USB | USB |
| 积分时间 | 3.8ms - 10s | 3.8ms - 10s |
| 探测器 (可定制 ) | CCD | CCD |
| 分辨率 | < 1.0nm@25μmslit | < 1.0nm@25μmslit |
| 信噪比 | 450:01:00 | 250:01:00 |
| 狭缝宽度 | 10μm - 100μm | 10μm - 100μm |
| 波段范围 (可定制 ) | 200nm - 1100nm | 220nm - 1050nm |
销售电话:156o183736o


