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先导元创精密 模块化、客户定制化XDX系列光谱仪
产品规格:
产品型号:XDX60004000

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商品介绍

应用场景显示面板、太阳能硅片 /电池片、晶圆等半导体制程中的终点检测,提高产品良率,降低生产成本。

特点和指标:波长范围:200~1100nm(根据客户配置);光学分辨率:<1nm@25μm 狭缝(FWHM)传感器:CCD/CMOS(根据客户配置);工作温度:5~50℃;检测材料:电介质、硅类、半导体化合物、金属及其化合物等;可根据客户需求更换狭缝、光栅、传感器、滤光片来配置所需的分辨率、波长范围、信噪比、杂散光等关键参数。

参数:

产品型号 XDX6000 光谱仪 XDX4000 光谱仪
通讯方式 USB USB
积分时间 3.8ms - 10s 3.8ms - 10s
探测器 (可定制 ) CCD CCD
分辨率  1.0nm@25μmslit  1.0nm@25μmslit
信噪比 450:01:00 250:01:00
狭缝宽度 10μm - 100μm 10μm - 100μm
波段范围 (可定制 ) 200nm - 1100nm 220nm - 1050nm

销售电话:156o183736o

 

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