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其他产品业务
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先导元创精密 金属零部件Chamber
产品规格：产品型号： 下载：  
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商品介绍
应用场景：刻蚀设备、薄膜沉积设备(PVD&CVD)。
特点和指标：密封面粗度行业领先，TM/LL/PM(传输腔/过渡腔/反应腔)一站式供应；腔体涂层有阳极/APS/刷镍三种能力；刻蚀反应腔体高温阳极密封能力。
| 关键参数 | Vital |
| 密封面粗度 | Ra<0.2μm |
| 膜厚均一性 | ±5%μm |
| BDV | >600 V/mil |
| 漏率 | <1E-11 torr.L/min |
| 遮蔽工艺界限 | ≤±0.2mm |
| 高温He检能力 | 具有 |
| 腔体涂层 | 阳极/APS/刷镍 |
| 腔体类型 | PM/TM/LL |
| 技术能力 | ||
| 技术模块 | 能力 | 参数 |
| 加工/制造 | 最大覆盖尺寸 | 3.6m |
| 精度 | <0.01mm | |
| 焊接 | TIG/MIG | |
| 材料 | 腔体材质 | AL/SUS |
| 氦漏 | <10^-9Mbar L/S | |
销售电话：156o183736o
