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先导元创精密 高精度非接触光纤高温计
产品规格:193 x 63 x 32mm
产品型号:VSI POF1550T

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商品介绍

应用场景:VSI POF1550T是一个单通道、非接触光纤高温计,产品基于黑体辐射理论接收待测物体发射的能量并转化为温度。VSI POF1200T 可以按照待测物的材料属性和测温范围配置不同的波长,测量距离从3毫米到3米,测温范围达 150 到 1200 摄氏度。

主要特点:·可广泛应用于半导体领域,如 Epi、PECVD ,LPCVD,PVD 和 MOCVD;·支持多通道级联实现多路温度实时监测;·非接触,可实现原位温度测量;·高精度温度监测,可达 ±1.5°C;·小巧,低成本,可取代传统热电偶方案,大幅提高晶圆之间的一致性。

技术指标:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

测温探头

通道配置

单通道非接触高温测量

测量模式

非接触

固定发射率

标定调整,范围 0.03 -1.0

温度范围

150 - 1200°C(950nm, D4.0 )

波长范围

标准波长 :630nm,940nm, 1550nm 或定制

采样率

最大 20Hz

准确度

±1.5°C

分辨率

0.01°C

重复性

0.1°C

光纤接口

FC

物理接口

RJ45 和 DIN8

模拟输出

RS485 转 4 - 20mA(可选配)

尺寸

193 x 63 x 32mm

重量

0.3kg

显示

无,控制器或 PC 电脑软件

销售电话:156o183736o

 

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