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其他产品业务
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先导元创精密 MOCVD原位监测系统
产品规格：产品型号：VSI Link RTC - 100 下载：  
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商品介绍
应用场景：MOCVD 外延生长过程中,需要对生长的各种参数和设备状况进行原位实时监测和控制 , 以便有效实现外延生长，避免废品，提高重现性和设备效能。VSI Link RTC-100 原位监测装置有非接触辐射温度计、反射率计、翘曲率计,它们实现的原位监测功能为：温度测量和加热控制、外延生长的薄膜厚度和生长速率测量、外延片生长时的材料应力及翘曲测量。
主要特点：实时监测工艺过程中反射率、温度、翘曲度等参数；温度实时补偿算法；晶圆选择性生长率分析；支持单片或多片晶圆测量；基于 TCP/IP协议软件接口及多种模拟信号输出 ；支持历史记录的调用比对和参数校准功能；具备良好的人机交互和完备的功能。
技术指标：
| 发射率校正高温计 | 光源 | 950nm，LED |
| 测温范围 | 100 °C - 1200 °C | |
| 精度 | ± 1.5°C | |
| 可选定晶圆 | 是 | |
| 发射率 | 波长 | 633 ± 5nm, 950 ± 5nm 或按需定制 |
| 光源寿命(小时) | > 20,000 | |
| 生长率准确性 | 优于 ± 1 % | |
| 采样频率( Hz ) | 100 ( 3 - 20rpm )，2000 ( 20 -100rpm) | |
| 翘曲 | 光源 | 405nm,半导体激光器 |
| 光源寿命(小时) | > 10,000 | |
| 测量范围 ( Km-1 ) | -1000 (convex）～ 1000 (concave) | |
| 精度( Km-1 ) | ± 5Km-1 | |
| 采样频率( Hz ) | 20 |
销售电话：156o183736o
